QT-100H-SYZD/QT-200H-SYZD應(yīng)用于將擴(kuò)散后石英舟內(nèi)的背靠背硅片導(dǎo)出并兩兩分開，然后分別入塑料硅片承載盒中，同時(shí)將未擴(kuò)散的硅片承載盒中取出，然后背靠背疊加放入石英舟內(nèi)，每一槽放兩片，待擴(kuò)散面朝外

設(shè)備特點(diǎn)：

1上下料一體化設(shè)計(jì)節(jié)約了工人搬運(yùn)石英舟及塑料硅片承載盒的勞動強(qiáng)度，籃具在上下料的過程中緊湊相連，循環(huán)利用，提高

整機(jī)的工作效率。所有入籃及入石英舟結(jié)構(gòu)均采用耐磨耐高溫自潤滑結(jié)構(gòu)穩(wěn)定之材料導(dǎo)向。高精密叉子托附，依靠硅片自身重

力入籃或入舟。大大降低了碎片率以及對載具的高精度要求

2機(jī)器重要環(huán)節(jié)采用激光傳感器精準(zhǔn)定為，一旦運(yùn)轉(zhuǎn)偏離位置，機(jī)器自動補(bǔ)償矯正。既提高了穩(wěn)定性，又提升了速度

3真空吸盤采用精密耐高溫陶瓷結(jié)構(gòu)，不變形、無污染、嬌片叉子采用高精度復(fù)合材料。