半導(dǎo)體凈化車間裝修工程

半導(dǎo)體凈化車間裝修工程

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)及注意事項(xiàng) 

1、半導(dǎo)體凈化無(wú)塵車間內(nèi)部要確保塵埃粒子只出不進(jìn)，因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。
2、為保持恒溫與恒濕，空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，空調(diào)就得開(kāi)多久。
3、所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主，因此，凈化無(wú)塵車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃等在無(wú)塵凈化車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至更低程度。
4、半導(dǎo)體無(wú)塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的，都得使用氮?dú)?98%)，吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。
在半導(dǎo)體無(wú)塵車間的建造過(guò)程中，除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工以及上述的重點(diǎn)難點(diǎn)外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過(guò)濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)（含特種氣體供應(yīng)等）及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防安全報(bào)警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。