Diener等離子清洗機PICO售價Pico 等離子設備可以組合可以實現不同的功能，例如組合成模塊系統。下面是能夠與 Pico 等離子系統組合使用的常見選裝件的概覽。Pico 系統主要應用于以下領域：分析 (REM, TEM)、考古、汽車、研究和開發部門、半導體技術、小批量生產、塑料技術、微系統技術、傳感技術、紡織技術。基本裝備：根據組件/選裝件，外殼規格會有所不同。腔室容積：根據具體版本 4 - 15 升。供電電源：臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位。氣體供給：針型閥、質量流量控制器 (MFC)。真空腔室：圓形不銹鋼，帶蓋（約 ? 150 mm，長 320 mm 或長 600 mm）。矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm）。矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ? 160 mm x 160 mm，長 325 mm 或長 600 mm）。圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ? 130 mm，長 300 mm 或長 600 mm）。圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ? 130 mm，長 300 mm 或長 600 mm）。裝載件：產品支架（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃。電極：單層或多層、RIE?？刂葡到y：半自動型、PCCE 控制系統 (Microsoft Windows CE)、PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)、旋轉開關。壓力測量：Pirani/電容式壓力計。計時器：數字式。發生器：40 kHz：功率 0 - 200 W；0 -1000 W、100 kHz：功率 500 W、80 kHz：功率 1000 W、13.56 MHz：功率? 0 - 100 W；0 - 300 W、2.45 GHz：功率 0 - 300 W、所有發生器均為 0 - 100.% 無級可調型。 其它選項：備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓?？蓱筇峁┑钠渌x項。Diener等離子清