電子氣體都有哪些應用領域？

電子氣體是指用于半導體及相關電子產品生產的特種氣體，應用范圍十分廣泛。按其本身化學成分可分為：硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按在集成電路中不同應用途徑可分為摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入氣、發光二極管用氣、刻蝕用氣體、化學氣相沉積氣和平衡氣。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體，其中常用的有超過30種。1）集成電路領域：電子特種氣體涉及集成電路制造多個環節，對終產品質量和性能影響重大。電子氣體在多個集成電路制造環節具有重要作用，尤其在半導體薄膜沉積環節發揮不可取代的作用，是形成薄膜的主要原材料之一。2）LCD領域：特種氣體在LCD行業中主要應用于成膜和干刻工藝。液晶顯示器分類種類眾多，其中TFT-LCD的反應時間快、成像質量高、且成本逐漸降低，是目前應用較廣泛的LCD技術。TFT-LCD面板的制造過程可分為三大階段：前段陣列工(Array)、中段成盒工序(Cell)以及后段模塊組裝工序(Module)。電子特氣主要應用于前段陣列工序的成膜和干刻階段，經過多次成膜工藝分別在基板上沉積SiNx非金屬膜以及柵極、源極、漏極和ITO等金屬膜。3）LED領

電子氣體的主要應用范圍包括電子行業、太陽能電池、移動通訊、汽車導航及車載音像系統、航空航天、軍事工業等諸多領域。

廣義的“電子氣體”指電子工業生產中使用的氣體，是重要原材料之一，狹義的“電子氣體”特制半導體行業用的氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于薄膜、蝕刻、摻雜等工藝，被稱為半導體、平面顯示等材料的“糧食”和“源”。半導體、平面顯示和太陽能光伏等器件的性能好壞與電子氣體的質量息息相關。電子氣體的分類及應用電子氣體種類繁多，在電子產品制作工藝中應用廣泛。目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣有80多種。電子氣體可分為純氣、高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻等工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。